睿勵科學儀器（上海）有限公司

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睿勵科學儀器（上海）有限公司是于2005年創建的合資公司，致力于開發、生產和銷售具有自主知識產權的集成電路生產制造工藝裝備產業中的工藝檢測設備。

公司的產品填補國家重大產業鏈中的重要空白，自列入了2005年上海市科教興市重大產業科技攻關項目起,，得到了政府和業界的大力支持和高度關注。

公司將通過不斷吸收和培養人才，建立和發展業界一流的具有自主創新能力的企業和團隊，達到并持續保持在國際及國內相應產業和市場的領先地位。

公司自主研發的產品：

TFX3000--300mm全自動光學膜厚測量系統

TFX3000 OCD--300mm全自動光學關鍵尺寸和形貌測量系統