上海工研院提供MEMS晶圓測(cè)試服務(wù)

可測(cè)試的器件類型有：加速度計(jì)、陀螺儀、硅麥克風(fēng)和壓力傳感器等

可測(cè)試的參數(shù)包括：

漏電流

電容

其它靜態(tài)參數(shù)

諧振頻率

品質(zhì)因素

阻尼系數(shù)

正交誤差

其它動(dòng)態(tài)參數(shù)

主要設(shè)備： STI3000全自動(dòng)探針臺(tái)

設(shè)備介紹：

通過STI3000全自動(dòng)探針臺(tái)，提供晶圓的接觸測(cè)試、功耗測(cè)試、輸入漏電測(cè)試、輸出電

平測(cè)試、全面的功能測(cè)試、全面的動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試以及模擬信號(hào)的參數(shù)測(cè)試等。

STI3000晶圓探針臺(tái)的主要特征參數(shù)：

Wafer Size Range: 75mm - 150mm

Cassette to Cassette

Temperature Control Chuck optional

Automatic Alignment

OCR Camera

Dimensions: 53" x 32" x 56"

Weight: 770 lbs

單位介紹

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