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材料特性表征與分析

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對半導體、金屬、聚合物、化學試劑、生物材料和環境樣品進行結構、缺陷、組份及電學、光學特性的表征和分析工作,為相關行業提供服務 半導體 ? 硅材料的微結構和微缺陷 ? 硅和化合物體內雜質 ? 超晶格量子阱機構和缺陷 ? 重摻雜CZ-Si單晶中氧碳含量 ? 半導體中的雜質能級 ? 異質結材料結構和缺陷 ? SOI、SOS、SIMOX材料結構 ? 電阻率、載流子濃度及遷移率 金屬 ? 4N~7N純度金屬 ? 金屬雜質深度分部 ? 表面氧化、偏析、硬化處理的深度 ? Al硅化物中U及Th含量 ? 痕量雜質的深度分

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