對半導體、金屬、聚合物、化學試劑、生物材料和環境樣品進行結構、缺陷、組份及電學、光學特性的表征和分析工作,為相關行業提供服務
半導體
? 硅材料的微結構和微缺陷
? 硅和化合物體內雜質
? 超晶格量子阱機構和缺陷
? 重摻雜CZ-Si單晶中氧碳含量
? 半導體中的雜質能級
? 異質結材料結構和缺陷
? SOI、SOS、SIMOX材料結構
? 電阻率、載流子濃度及遷移率
金屬
? 4N~7N純度金屬
? 金屬雜質深度分部
? 表面氧化、偏析、硬化處理的深度
? Al硅化物中U及Th含量
? 痕量雜質的深度分
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